SoleChem Kimya ELgradeKimya
Menü

Hesaplayıcılar

BOE Oranı Hesaplayıcı (NH₄F : HF Karışım Hacimleri)

Bu araç, hedeflediğiniz BOE oranı ve toplam banyo hacmi için gereken %40 amonyum florür (NH₄F) ve %49 hidroflorik asit (HF) hacimlerini hesaplar. Tamamen tarayıcınızda çalışır; girilen değerler sunucuya gönderilmez. Sonuç bir başlangıç noktasıdır — bağlayıcı olan tesisinizin SOP’u ve kullandığınız kimyasalın COA’sıdır.

Hesaplayıcı BOE Karışım Oranı — X : 1 (NH₄F %40 : HF %49)

X:1 gösterimi hacimseldir: X hacim %40 NH₄F + 1 hacim %49 HF. Üretim banyoları için oranı tutturulmuş hazır (premix) BOE önerilir.

BOE “tamponlanmış” olsa da bir HF çözeltisidir: 6:1 karışım yaklaşık %7 HF içerir ve ciddi yaralanma için fazlasıyla yeterlidir. Karışım yalnızca PE/PFA/PP kapta hazırlanır (HF ve NH₄F camı çözer), neopren/butil eldiven + yüz siperi kullanılır ve kalsiyum glukonat jeli el altında bulundurulur. Maruziyet ve ilk yardım ayrıntıları güvenlik sayfasındadır.

“X:1 BOE” Tam Olarak Ne Demek?

BOE oranı bir hacim oranıdır: X:1, X hacim %40’lık NH₄F çözeltisinin 1 hacim %49’luk HF ile karıştırılması demektir. Örneğin 700 mL 6:1 BOE = 600 mL %40 NH₄F + 100 mL %49 HF. Hesaplayıcının yaptığı da budur: V_NH₄F = V × X/(X+1), V_HF = V × 1/(X+1).

Tamponun görevi oksit aşındırma sayfasında ayrıntılı anlatılıyor; özeti şu: NH₄F, aşındırmada tüketilen HF’yi denge üzerinden yerine koyar, F⁻ konsantrasyonunu ve pH’ı sabit tutar. Sonuç, banyo boyunca değişmeyen hız ve bozulmayan fotorezist adhezyonudur. Oran büyüdükçe karışımdaki HF payı — ve dolayısıyla aşındırma hızı — düşer.

6:1, 7:1 ve 10:1 Farkları

OranHF payı (hacim)Termal oksit hızı (tipik, 25 °C)Tipik iş
6:1~%14 karışım hacmi (≈ %7 HF)~90–120 nm/dkKalın oksit, standart kontak/maske açma
7:1~%12,5~60–80 nm/dkİnce gate/tünel oksit, hassas hedef kalınlık
10:1~%9Belirgin daha yavaşÇok ince katman, maksimum kontrol ve uzun banyo ömrü

Kaynak: Stanford SNF 6:1 BOE bileşimi — bkz. Kaynaklar. Hızlar tipik aralıktır; sıcaklık, banyo yaşı ve oksit türü değiştirir.

Basit seçim kuralı: süre kısıtı ve kalın oksit → 6:1; ince oksit ve hassas durdurma → 7:1; en yavaş, en kontrollü aşındırma → 10:1. Hedef kalınlıktan banyo süresi çıkarmak için etch süresi hesaplayıcısı yan araçtır; tek bileşenli seyreltmeler içinse seyreltme hesaplayıcısına bakın.

Kendin Karıştırmak mı, Hazır Premix mi?

Bu hesaplayıcı yerinde karışım içindir; üretim pratiğinde ise çoğu hat hazır karışım BOE kullanır ve bunun somut gerekçeleri vardır. Hazır premix, üretici hattında tartımla (gravimetrik) harmanlanır ve lot COA’sıyla gelir — hacim ölçüm hatası ve operatör değişkenliği ortadan kalkar. Derişik %49 HF’nin elleçlenmesi tek riskli adımdır; premix bu adımı tesisinizden üreticiye taşır. Ayrıca surfaktan katkılı formülasyonlar (küçük geometrilerde ıslatma için) yalnızca hazır üründe standarttır. Yerinde karışım, esnek oran ve küçük parti gereken Ar-Ge işlerinde anlamlıdır.

İki yolun ürünleri de tedarik kapsamımızdadır: hazır 6:1 / 7:1 BOE ile bileşenler için %40 NH₄F ve elektronik grade %49 HF.

Elektronik grade tedarik teklifi

Ürünü, hedef saflık sınıfını, miktarı ve ambalajı yazın; fiyat ve net teslim tarihiyle dönelim.

Teklif Al

Sıkça Sorulan Sorular

6:1 BOE’nin gerçek bileşimi nedir?

Hacimce 6 birim %40 NH₄F + 1 birim %49 HF; kütlece yaklaşık %34 NH₄F, %7 HF, %59 su. Yani “6:1” etiketi karışım oranını söyler, HF yüzdesini değil — %7 HF içeren bir çözeltidir.

Oranı büyütmek hızı neden düşürür?

Oran büyüdükçe sabit hacimde HF payı küçülür; aşındırmayı yürüten florür türlerinin konsantrasyonu düşer. 7:1 ve 10:1’in “yavaş ama kontrollü” karakteri buradan gelir.

X < 1 oran girilebilir mi?

Matematiksel olarak evet, pratik olarak anlamsız: HF payı NH₄F’yi aşarsa tampon kapasitesi yetmez ve karışım fiilen seyreltik HF gibi davranır — hız kararlılığı ve rezist uyumu kaybolur. Araç bu durumda uyarı gösterir.

Karışımı hangi kapta hazırlamalıyım?

Yalnızca PE, PP veya PFA. HF ve NH₄F cam ile kuvarsı çözer; cam beher, cam karıştırıcı ve cam termometre bu banyoya giremez. Aynı kural depolama ambalajı için de geçerlidir.

Kaynaklar