SoleChem Kimya ELgradeKimya
Menü

Ürünler

Elektronik/SEMI Grade Kimyasal Ürün Kataloğu

Temiz oda dolum hattında sıralı bidon ve varil grubu

Katalogda 8 kategoride 42 ürün var: wafer temizliğinden fotolitografiye, PV teksturlamadan batarya elektrot kaplamasına kadar ıslak adımların tamamı; yanında plazma aşındırmanın etch gazları, ince film hatlarının ALD/CVD öncüleri ve CMP/etch sonrası formüle temizleyiciler. İstediğiniz saflık sınıfı ve ambalajla tedarik ederiz. Lot bazlı analiz bilgisi teklif aşamasında paylaşılır, sevkiyat üretici analiz sertifikası (COA) ve güvenlik bilgi formu (SDS) ile yapılır.

Elektronik grade tedarik teklifi

Ürünü, hedef saflık sınıfını, miktarı ve ambalajı yazın; fiyat ve net teslim tarihiyle dönelim.

Teklif Al

Ürün Kategorileri

Asitler

Islak proseslerin taşıyıcı grubu. RCA ve piranha temizliğinden oksit gidermeye, asidik tekstürden metal aşındırmaya kadar her adımda bir asit var. H₂SO₄, HCl, HF, HNO₃, H₃PO₄ ve glasiyel asetik asidin yanında hidrojen peroksit de bu kategoride listelenir — kimyaca asit değil oksidandır, ancak RCA/piranha setiyle birlikte arandığı için burada durur. ITO aşındırmanın oksalik asidi ile post-CMP temizliğin sitrik asidi de bu kategoriye eklendi. → Elektronik grade asit portföyü

Bazlar ve Geliştiriciler

İki ayrı iş yapan grup: temizlik ve tekstür tarafında NH₄OH ile KOH, fotolitografi tarafında %2,38 TMAH geliştirici. Konsantrasyon ve form seçenekleri (pellet, çözelti, geliştirici/stok) teklif aşamasında belirlenir. → Bazlar ve geliştiriciler

Solventler

IPA, aseton ve PGMEA’nın yanında PGME, etil laktat, DMSO, MEA ve yapışma astarı HMDS. Solventte belirleyici parametre iz metalden çok su içeriği, partikül ve buharlaşma kalıntısıdır (NVR); spesifikasyon dili de bu üçlü üzerinden kurulur. → Temiz oda solventleri

Etchant ve Hazır Karışımlar

Kendiniz karıştırmak yerine oranı tutturulmuş, lot içi tekrarlanabilir karışım. Katalogda BOE 7:1 (diğer oranlar sipariş üzerine), BOE’nin tampon bileşeni amonyum florür, alüminyum ve krom-altın etchant’ları, PCB mikroetch persülfatları ve fotorezist stripper. → Hazır etchant karışımları

Batarya Kimyasalları

Batarya üretiminde saflık dili farklıdır: iz metal kadar su içeriği belirleyicidir, bu yüzden “battery grade” ayrı bir katman sayılır. Katalogda NMP ve elektrolit çözücü seti (DMC/EC/EMC). → Battery grade kimyasallar

Elektronik Özel Gazlar

Plazma aşındırmanın ve reaktör temizliğinin silindirle gelen sarfları: hidroflorokarbon ve perflorokarbon etch gazları, Cl₂, HCl gazı, anhidr HF, WF₆ ve F₂/N₂ karışımı. Saflık dili 5N-6N; silindir/vana standardı şartnamenin parçası. → Elektronik özel gazlar

ALD/CVD Öncüleri

İnce film hatlarının prekürsörleri: TiN için TDMAT, nitrür/oksit için HCDS ve BDEAS. Paslanmaz çelik kanister, kapalı sistem transfer, ppb-ppt sınıfı safsızlık limitleri. → ALD/CVD öncüleri

Proses Temizleyicileri

Kullanıma hazır formülasyonlar: etch sonrası kalıntı temizleyici (PERR), post-CMP temizleme çözeltisi ve formülasyonların aktif maddesi hidroksilamin. → Proses temizleyicileri

Tüm Ürünler

ÜrünFormül / CASTipik kullanım
Hidrojen peroksitH₂O₂ · 7722-84-1RCA SC-1/SC-2 ve piranha oksidanı
Sülfürik asitH₂SO₄ · 7664-93-9Piranha/SPM, rezist sıyırma, PCB banyoları
Hidroklorik asitHCl · 7647-01-0RCA SC-2, metalik iyon giderme
Hidroflorik asitHF · 7664-39-3Doğal oksit ve PSG giderme, SiO₂ etch
Nitrik asitHNO₃ · 7697-37-2Asidik tekstür, metal etch karışımları
Fosforik asitH₃PO₄ · 7664-38-2Al etchant bileşeni, sıcak fosforik nitrür etch
Asetik asit (glasiyel)CH₃COOH · 64-19-7Al etchant ve tekstür karışımlarında tampon
Oksalik asit(COOH)₂ · 144-62-7Display hatlarında ITO aşındırmanın zayıf asidi
Sitrik asitC₆H₈O₇ · 77-92-9Post-CMP temizlik, III-V seçici mikroetch
Amonyum hidroksitNH₄OH · 1336-21-6RCA SC-1, partikül ve organik giderme
Potasyum hidroksitKOH · 1310-58-3Mono-Si teksturlama, anizotropik Si etch
TMAH(CH₃)₄NOH · 75-59-2%2,38 fotorezist geliştirici, %25 stok çözelti
İzopropil alkolIPA · 67-63-0Marangoni/buhar kurutma, tekstür banyosu bileşeni
AsetonC₃H₆O · 67-64-1Rezist lift-off, genel solvent temizlik
PGMEA (PM Asetat)108-65-6Fotorezist çözücüsü, thinner ve EBR
PGME107-98-2Thinner/EBR formülasyonlarında PGMEA’nın eşlikçisi
Etil laktat97-64-3Rezist formülasyon çözücüsü, EBR bileşeni
DMSO67-68-5Stripper formülasyonlarının çözücü bileşeni
MEA (monoetanolamin)141-43-5Stripper formülasyonlarının amin bileşeni
HMDS999-97-3Rezist öncesi yapışma astarı (adhesion promoter)
BOE 7:1NH₄F : HFFotolitografiyle uyumlu kontrollü SiO₂ etch
Amonyum florürNH₄F · 12125-01-8BOE’nin tampon bileşeni, %40 çözelti
Alüminyum etchantPAN karışımıAl ince film desenleme (display, MEMS, interconnect)
Krom-altın etchantCAN bazlı · KI/I₂Cr yapışma katmanı ve Au metalizasyon desenleme
PersülfatlarSPS/APSPCB mikroetch ve bakır yüzey hazırlığı
Fotorezist stripperNMP/DMSO-amin bazlıSertleşmiş rezist sıyırma
NMP872-50-4Katot çamuru çözücüsü, rezist stripper
Elektrolit çözücüleriDMC/EC/EMCLi-ion elektrolit çözücü seti; su içeriği kritik
Klor (gaz)Cl₂ · 7782-50-5Poli-Si/Al/III-V plazma aşındırma
Hidrojen klorür (gaz)HCl · 7647-01-0Epitaksi öncesi temizlik, seçici epi
Anhidr HFHF · 7664-39-3Vapor HF oksit sıyırma, MEMS release
HFC etch gazlarıCH₃F/CH₂F₂/CHF₃Nitrür/oksit seçici plazma etch
PFC etch gazlarıC₂F₆/C₄F₈/C₄F₆/C₅F₈HAR oksit etch, Bosch pasivasyonu, oda temizliği
Tungsten hekzaflorürWF₆ · 7783-82-6CVD tungsten kontak/via dolgusu
F₂/N₂ karışımıF₂ %20 · 7782-41-4CVD oda temizliği, NF₃ alternatifi
TDMAT3275-24-9TiN bariyer/elektrot ALD-MOCVD öncüsü
HCDSSi₂Cl₆ · 13465-77-5Düşük sıcaklık SiN/SiO₂ öncüsü
BDEAS27804-64-4PEALD SiO₂, çift desenleme spacer oksidi
PERR temizleyiciFormüle ürünEtch/ashing sonrası kalıntı temizliği
Post-CMP temizleyiciFormüle ürünCMP sonrası partikül ve metal iyon temizliği
HidroksilaminNH₂OH · 7803-49-8Stripper/PERR formülasyonlarının aktif maddesi
Silikon etchantHNA karışımıİzotropik Si aşındırma, poli-Si inceltme

Grade Katmanları — Hangi Saflık Sınıfı?

Her ürünü iki katmanda sunuyoruz: EL Grade (VLSI) temel ve ULSI/SEMI üst sınıf sipariş üzerine. Bunun nedeni pazarın gerçek talebi; ppb düzeyi iz metal, PV hattından PCB’ye ve üniversite temiz odasına kadar işlerin çoğunu karşılar, ppt sınıfı ise ileri fab prosesine özgüdür.

Sektörde iki adlandırma paralel yaşar. Ticari dilde EG/MOS → VLSI (10–100 ppb) → ULSI (<10 ppb) → SLSI/XLSI sıralaması kullanılır; şartname dilinde ise her kimyasalın kendi SEMI C-belgesi ve tier yapısı esastır. İkisinin nasıl eşleştiğini SEMI C-serisi sınıflandırması sayfasında tablo halinde açıkladık. Saflık sınıfının ne anlama geldiğini elektronik grade nedir, hangi işlemin hangi sınıfı gerektirdiğini ise elektronik grade ile teknik grade karşılaştırması sayfasında bulabilirsiniz.

Ürün sayfalarındaki tabloların tamamı tipik aralıklardır. Bağlayıcı spesifikasyon, lot analizi ve ambalaj seçenekleri teklif aşamasında netleşir.

Aradığınız Ürün Listede Yok mu?

Katalog, Türkiye’deki gerçek talebe göre kalibre edilmiş bir çekirdek liste. İlk genişleme portföyünün tamamı — amonyum florür, alüminyum/krom-altın etchant’ları, persülfatlar, elektrolit çözücü seti, DMSO-MEA stripper bileşenleri, PGME, etil laktat, oksalik asit ve HMDS — artık kendi sayfalarıyla katalogda. Listede hâlâ olmayan bir kalem için de bugün teklif isteyebilirsiniz — liste, sayfası olan ürünlerle sınırlı değil.

SoleChem Kimya, elektronik saflık sınıfındaki ıslak proses kimyasallarını tedarik eder; ürün, hedef grade, hacim ve ambalajı birlikte netleştiririz. Teklif talebi bırakın veya birden fazla ürünü tek listede iletin.

Elektronik grade tedarik teklifi

Ürünü, hedef saflık sınıfını, miktarı ve ambalajı yazın; fiyat ve net teslim tarihiyle dönelim.

Teklif Al