Proses Temizleyicileri — Formüle Temizlik Çözeltileri
RCA ve piranha gibi klasik reçeteler tek tek kimyasallardan tesiste hazırlanır; bu kategorideki ürünler ise kullanıma hazır formülasyonlardır. İkisinin arasındaki fark, hedefin karmaşıklığıdır: plazma aşındırma sonrası hendek dibinde kalan metal-organik polimer, hem kalıntıyı çözecek hem alttaki metali korozyondan koruyacak dengelenmiş bir kimya ister — bu denge, formülcünün işidir. Aynısı CMP sonrası nanopartikül temizliği için geçerlidir.
Formüle ürünlerde bileşim üreticinin bilgisidir; şartname performans ve safsızlık üzerinden konuşur. Lot bazlı analiz bilgisi teklif aşamasında paylaşılır; sevkiyat üretici COA + SDS ile yapılır.
Kategorideki Ürünler
Etch sonrası kalıntı temizleyici (PERR) Plazma aşındırma ve kül alma (ashing) sonrasında via/hendek içinde kalan polimer ve metal-organik kalıntıyı, Cu/Al/Co hatlarına zarar vermeden söker. Yarı iletken BEOL hatlarının ve ileri paketleme akışlarının standart sarfı.
Post-CMP temizleme çözeltisi Kimyasal-mekanik parlatma (CMP) sonrası wafer yüzeyindeki slurry nanopartiküllerini ve metal iyonlarını uzaklaştıran alkali/asidik formülasyonlar; fırça temizleme (brush clean) istasyonlarının kimyası.
Hidroksilamin (%50 sulu çözelti) Formüle temizleyicilerin ve stripper’ların indirgen aktif bileşeni; kendi reçetesini kuran formülcüler ve hatlar için ayrı kalem olarak tedarik edilir.
Hazır Formül mü, Kendi Reçeteniz mi?
Karar, etchant kategorisindeki hazır karışım mantığının devamıdır: sabit proses penceresi ve korozyon riski taşıyan metal katmanlar hazır formülü, esneklik isteyen Ar-Ge çalışması bileşen bazlı tedariki öne çıkarır. Kalıntı tipi (florlu polimer, Cu oksit, slurry partikülü) formül ailesini belirlediği için teklif formunda proses bağlamını — hangi metal, hangi etch/CMP adımı — kısaca yazmanız seçim sürecini kısaltır. Genel sıyırma işleri için fotorezist stripper ve solvent kategorisi ayrı başlıklardır.
Elektronik grade tedarik teklifi
Ürünü, hedef saflık sınıfını, miktarı ve ambalajı yazın; fiyat ve net teslim tarihiyle dönelim.
SoleChem Kimya, formüle proses temizleyicilerini ıslak proses kataloğuyla birlikte tedarik eder; kalıntı tipinize uygun formül ailesi teklif aşamasında netleştirilir. Teklif talebi bırakın.