SEMI Standartları: Elektronik Kimyasallarda C-Serisi Saflık Sınıflandırması

SEMI standartları, yarı iletken endüstrisi birliği SEMI’nin (Semiconductor Equipment and Materials International) yayımladığı ortak üretim standartlarıdır; sıvı proses kimyasallarının saflık spesifikasyonları C-serisi belgelerinde (SEMI C1, C28, C44 gibi) tanımlanır. Bu belgeler, kimyasal üreticisi ile fab arasındaki ortak dili kurar: alıcı şartnameye “SEMI Grade 2” yazdığında, iki taraf da hangi elementin hangi limitle sınırlandığını aynı belgeden okur. Her kimyasalın kendi standardı vardır — hidroflorik asidin iki farklı konsantrasyonu bile iki ayrı belgeyle tanımlanır.

Bu sayfa, şartnamelerde karşınıza çıkan üç adlandırma katmanını — SEMI Grade 1–5, tarihsel EG/MOS/VLSI/ULSI etiketleri ve C-serisi belge numaraları — tek bir eşleme tablosunda birleştirir.

SEMI Kimdir, C-Serisi Nedir?

SEMI, yarı iletken üretim ekipmanı ve malzeme tedarik zincirini temsil eden uluslararası endüstri birliğidir. Üye şirketlerin — kimyasal üreticileri, ekipman firmaları ve fab’ler — teknik komitelerde birlikte hazırladığı SEMI standartları, wafer boyutlarından temiz oda protokollerine kadar üretimin ortak kurallarını tanımlar. Sıvı proses kimyasalları bu ailenin C-serisi (process chemicals) altında yaşar.

Bu ortak dilin pratik değeri tedarik zincirinde görülür: fab, şartnameye belge numarası ve grade yazar; üretici, aynı belgeye göre üretir ve analiz eder; alıcı, gelen COA’yı aynı limit setiyle karşılaştırır. Standart olmasaydı her alıcı-üretici çifti kendi limit listesini sıfırdan müzakere etmek zorunda kalırdı.

Serinin temeli SEMI C1 — Guide for the Analysis of Liquid Chemicals belgesidir. C1 tek tek limit değerleri vermez; tüm C-serisinin ortak analiz metodolojisini tanımlar — iz metaller, anyonlar, parçacıklar ve nem hangi yöntemle, hangi raporlama sınırıyla ölçülür. Güncel revizyon kodu (C1-0310, Reapproved 0618) standardın yaşayan bir belge olduğunu gösterir: periyodik olarak gözden geçirilir ve yeniden onaylanır.

Bir SEMI standardı nasıl satın alınır? Belgeler SEMI’nin çevrimiçi mağazasından (store.semi.org) tek tek veya abonelik paketiyle alınır; her belge PDF olarak lisanslanır ve lisans, belgeyi satın alan kurumla sınırlıdır. Mağaza sayfası, satın almadan önce belgenin kapsamını ücretsiz gösterir: hangi kimyasalı ve konsantrasyonu kapsadığı, kaç grade/tier tanımladığı, güncel revizyon kodu. Şartname yazan bir ekip için çoğu zaman bu özet yeterlidir — belgenin tam metnine, limit değerleriyle birebir çalışan kalite ve analiz ekipleri ihtiyaç duyar.

Şeffaflık notu: SEMI standartlarının tam metinleri ücretlidir ve SEMI mağazasından satın alınır. Bu sayfadaki bilgiler, standart içeriğini yeniden yayımlamaz; SEMI mağaza sayfalarında ücretsiz görülebilen kapsam özetlerinden (grade/tier sayısı, revizyon kodu) ve kamuya açık teknik literatürden derlenmiştir.

SEMI Grade 1–5: Saflık Kademeleri ve Eski Adlandırmalar

SEMI, kimyasal saflığını hedef uygulamanın teknoloji düğümüne — üretilen entegre devrenin çizgi genişliğine — göre kademeler. Bugünkü Grade 1–5 sisteminin atası, tarihsel EG/MOS/VLSI/ULSI adlandırmasıdır ve iki sistem şartnamelerde hâlâ yan yana görülür: bir tedarikçi kataloğu “VLSI grade” yazarken, bir fab şartnamesi aynı sınıfı “SEMI Grade 3” olarak isteyebilir. Aşağıdaki tablo iki adlandırmayı, tipik iz metal ölçeğini ve hedef çizgi genişliğini tek eksende birleştirir.

Kaynak: SEMI C1 kapsam özeti üzerinden derlenmiştir; değerler tipik aralıklardır, bağlayıcı limitler ilgili SEMI belgesinin güncel revizyonundadır. Tarihsel adlandırma eşlemesi endüstri pratiğidir ve tedarikçiler arasında küçük farklar gösterebilir. Bkz. Kaynaklar.

Tabloyu okurken üç eğilim öne çıkar. Grade yükseldikçe element başına metal limiti ppm düzeyinden ppt düzeyine iner — yani bir milyon kat sıkılaşır. Parçacık boyutu sınırı küçülür; ileri grade’lerde nanometre sınıfı parçacıklar bile sayım konusudur. Analiz, saflaştırma ve ambalaj maliyeti de bu sıkılaşmayla birlikte katlanır. Bu birimlerin ölçeğini sezgisel kılmak için ppm, ppb ve ppt arasındaki ölçek farkını anlatan sayfamıza bakabilirsiniz; “hangi işlem için hangi grade yeterli” sorusunun cevabı ise EL grade ile teknik grade karşılaştırma rehberinde ele alınır — bu sayfa taksonomiyi anlatır, satın alma kararını o sayfaya bırakır.

SoleChem Kimya olarak kataloğumuzdaki elektronik kimyasalları bu C-serisi çerçevesine göre sınıflandırıyoruz; ürün kataloğunda her kimyasalın tipik spesifikasyon aralığını ve ilgili SEMI belgesini birlikte görürsünüz.

Grade ve Tier Ayrımı: Aynı Standardın İçindeki Kademeler

Tek bir SEMI belgesi birden fazla saflık kademesi içerebilir. Somut örnek: sülfürik asit standardı SEMI C44, kapsam özetinde açıkça 2 grade + 3 tier yapısı tanımlar. Ayrım şöyle okunur: grade, hedef uygulama sınıfını belirler (hangi teknoloji düğümü için); tier ise aynı grade’in içinde sıkılaştırılmış ek limit setleridir — örneğin aynı uygulama sınıfında daha dar bir metal listesi veya daha düşük parçacık sınırı isteyen fab’ler için.

Bu yapı, sitemizin spesifikasyon dilini de belirler: kataloğumuzda tipik spesifikasyon aralıkları VLSI temelinde verilir; ULSI ve üzeri SEMI üst sınıfları sipariş üzerine tedarik edilir. Lot bazlı analiz bilgisi teklif aşamasında paylaşılır; sevkiyat, üretici analiz sertifikası (COA) ve SDS eşliğinde yapılır.

Hangi Kimyasala Hangi SEMI Standardı? (C-Serisi Dizini)

C-serisinde her kimyasalın kendi belge numarası vardır — hatta aynı kimyasalın farklı konsantrasyonları ayrı standartlarla tanımlanır. Hidroflorik asit bunun ders kitabı örneğidir: %49 HF, SEMI C28 ile; %4,9 (10:1 v/v) seyreltik HF ise SEMI C29 ile spesifiye edilir. Aşağıdaki dizin, kataloğumuzdaki kimyasalların kamuya açık kapsam özetleri doğrulanmış SEMI belgelerini listeler.

Kaynak: SEMI mağazası ürün sayfaları ve SEMI Liquid Chemical Standards genel sayfası. Kapsam notları mağaza sayfalarındaki ücretsiz özetlerden alınmıştır. Bkz. Kaynaklar.

İki ek not gerekir. Birincisi, katalogdaki diğer kimyasallar için de tedarikçi kataloglarında kendi SEMI belge numaraları anılır — nitrik asit, fosforik asit ve amonyum florür bunların başında gelir; bu belgelerin kapsam özetlerini SEMI mağazasında doğruladıkça yukarıdaki dizine bağlantılı satır olarak ekliyoruz, o zamana kadar şartnamedeki numarayı teklif aşamasında birlikte teyit ediyoruz. İkincisi, eski şartname ve kataloglarda HF için C7.1 veya C8 gibi tarihî belge numaralarına rastlayabilirsiniz — SEMI’nin numaralandırması zaman içinde güncellenmiştir; şartnamenizde eski bir numara görürseniz güncel karşılığını teklif aşamasında birlikte netleştirebiliriz.

Dizinin okunuşuna dair son bir pratik ipucu: belge numarası, ürünün “hangi kimyasal” olduğunu; grade/tier ise “ne kadar saf” olduğunu söyler. İkisi birbirinin yerine geçmez — C28 yazmak HF istediğinizi netleştirir ama saflık kademesini açık bırakır; Grade 3 yazmak kademeyi netleştirir ama hangi belgeye göre olduğunu açık bırakır. Bağlayıcı bir şartname ikisini birlikte anar.

C-Serisinin Ötesi: PV-Serisi ve Diğer İlgili Seriler

SEMI’nin standart ailesi C-serisiyle sınırlı değildir; kimyasal tedarik zincirini ilgilendiren iki komşu seri daha vardır.

PV-serisi (fotovoltaik). Fotovoltaik hücre üretiminin her adımı yarı iletken fab saflığı gerektirmez: PV-serisi (PV11 = HF, PV33 = H₂SO₄), güneş hücresi proseslerine kalibre edilmiş, daha ekonomik bir limit seti sunar. Mantık maliyet mühendisliğidir — hücre yüzeyi, milimetrekare başına milyonlarca transistör değil tek büyük eklem taşıdığı için kusur toleransı daha yüksektir; standart da buna göre gevşetilmiştir. PV teksturlama prosesinde kullanılan asitler için çoğu üretici PV-serisi veya Grade 1–2 düzeyiyle çalışır; ayrıntı fotovoltaik sektör sayfamızdadır.

F-serisi (akışkan dağıtımı). Kimyasalın kendisi kadar, onu banyoya taşıyan sistem de standartlaşmıştır: F-serisi, yüksek saflık akışkan dağıtım bileşenlerini — polimer boru, vana, bağlantı elemanları ve bunların temizlik/ekstrakte edilebilirlik kriterlerini — kapsar. Tedarik şartnamesi yazarken bu seriyle doğrudan çalışmazsınız; ama fab’ın kimyasal dağıtım sistemi F-serisi bileşenlerle kurulduğu için, ambalajdan dağıtım hattına kadar zincirin her halkasında aynı saflık disiplini geçerlidir. Ambalaj tarafındaki karşılığı ana rehberin ambalaj bölümünde anlatılıyor.

Seri adlarının tam listesi ve güncel belge dizini SEMI’nin resmi standart sayfasında yayımlanır.

SEMI Grade Satın Alırken Şartnamede Ne Yazmalı?

“SEMI kalitesinde olsun” cümlesi, tek başına bağlayıcı bir şartname değildir — hangi belge, hangi grade, hangi revizyon sorularını açık bırakır. Tedarikçiyle tek seferde anlaşmak için şartnameye şu beş öğeyi yazın:

1. Belge numarası ve konsantrasyon. “HF, SEMI C28 (%49)” veya “seyreltik HF, SEMI C29 (%4,9)” — aynı kimyasalın iki konsantrasyonu iki ayrı belgedir; yalnızca “SEMI HF” yazmak belirsizlik bırakır.
2. Grade (ve varsa tier). “SEMI C44 Grade 2, Tier B” gibi. Grade yazılmazsa üretici en ekonomik kademeyi teklif eder; gereğinden yüksek grade yazılırsa aynı işi katbekat fiyata satın alırsınız.
3. Kritik elementler için ek limitler. Standardın genel listesi yetmiyorsa — örneğin DHF adımı için bakırda standart limitin altı gerekiyorsa — ilgili elementleri ve hedef değerleri ayrı satırda adlandırın. “Düşük metal” gibi sıfatlar teklif aşamasında yeniden müzakere edilir; sayılar edilmez.
4. Belgeleme beklentisi. Lot bazlı COA, SDS ve gerekirse ek analiz talebi (ör. parçacık sayımı raporu) şartnameye baştan yazılmalıdır; sevkiyattan sonra istenen analiz süre ve maliyet ekler.
5. Ambalaj ve parti büyüklüğü. Kap malzemesi (HF için PE/PFA zorunluluğu gibi), hacim ve teslim ritmi; açılan kabın tüketim süresi spesifikasyonun korunması açısından parçasıdır.

Eski şartnameden kopyalanan belge numaralarına dikkat: SEMI numaralandırması zaman içinde güncellendiği için, on yıl önceki bir şartnamedeki referans bugün farklı bir belgeye karşılık gelebilir. Şüphede kalınan durumda mağaza sayfasındaki kapsam özeti ile revizyon kodunu teyit etmek yeterlidir — biz de teklif aşamasında bu eşleştirmeyi birlikte yapıyoruz.

SEMI Uygunluğu Nasıl Kanıtlanır? Analiz ve COA

Bir grade etiketi, ancak ölçümle desteklendiğinde anlam taşır. SEMI limitlerinin doğrulanmasında üç yöntem standarttır: iz metaller endüktif eşleşmiş plazma kütle spektrometrisi (ICP-MS) ile ppt düzeyine kadar ölçülür, parçacıklar sıvı parçacık sayımı (LPC) ile sayılır, nem Karl Fischer titrasyonu ile tayin edilir. Sonuçlar analiz sertifikasında (COA) spesifikasyon limitleriyle yan yana raporlanır ve belge, ilgili SEMI spesifikasyonuyla birlikte okunur. Bu yöntemlerin nasıl çalıştığını ve bir COA’nın satır satır nasıl okunduğunu analiz yöntemleri rehberinde anlatıyoruz.

Kavramsal ilişki de tek cümleyle özetlenebilir: SEMI grade, EL grade kavramının standartla belgelenmiş hâlidir.

Pratikte SEMI Grade Seçimi

Şartnamedeki SEMI referansını proses adımına çevirmek çoğu zaman şu eşlemeyle başlar:

• RCA temizleme (SC-1/SC-2): NH₄OH (C21), H₂O₂ (C30) ve HCl (C27) üçlüsü — reçete ve sıcaklıklar RCA temizleme sayfasında.
• Oksit aşındırma: %49 HF (C28) veya seyreltik HF (C29) — oksit aşındırma prosesi ve HF ürün sayfası.
• Wafer kurutma: düşük su içerikli IPA (C41) — IPA ürün sayfası.
• Fotorezist develop: TMAH (C46) — TMAH ürün sayfası.

Bu rehberdeki ürünler: Asitler · Bazlar ve Geliştiriciler · Solventler · Etchant ve Hazır Karışımlar · Batarya Kimyasalları

Sıkça Sorulan Sorular

SoleChem Kimya, elektronik sınıf ıslak kimyasalları SEMI C-serisi çerçevesinde sınıflandırarak tedarik eder. Şartnamenizdeki SEMI sınıfını veya eski adlandırmayı birlikte netleştirelim, uygun grade için teklif verelim: teklif talebi.

SoleChem teknik ekibi · Son gözden geçirme: 14 Ağustos 2026