TDMAT — Tetrakis(dimetilamino)titanyum
TDMAT (Tetrakis(dimethylamido)titanium, Ti[N(CH₃)₂]₄; CAS 3275-24-9), titanyum nitrür (TiN) ince filmlerinin yerleşik MOCVD/ALD öncüsüdür. TiN, çipin görünmez işçisidir: bakır ve tungsten metalinin silisyuma difüzyonunu kesen bariyer, gate yığınının metal elektrotu ve kapasitör kaplaması hep bu filmden yapılır. TDMAT, turuncu-sarı, havaya karşı son derece hassas bir sıvıdır ve NH₃ veya azot plazmasıyla tepkiyerek TiN verir. SoleChem, TDMAT’ı yüksek saflık sınıfında (6N’e kadar), paslanmaz çelik kanisterlerde tedarik eder; lot bazlı analiz bilgisi teklif aşamasında paylaşılır, sevkiyat üretici COA + SDS ile yapılır.
Teklif talebi bırakın · tipik spesifikasyon aralıkları
Tipik Spesifikasyon Aralıkları
Aşağıdaki değerler tipik aralıklardır; bağlayıcı spesifikasyon ve lot analizi teklif aşamasında netleştirilir.
| Parametre | Tipik değer |
|---|---|
| Saflık (metal bazlı) | 6N sınıfına kadar |
| Tekil metal safsızlıkları | ppb sınıfı limitler |
| Klorür | Sınırlı — metal-organik rotanın avantaj satırı |
| Fiziksel form | Turuncu-sarı sıvı, nem/oksijene şiddetle duyarlı |
| Ambalaj | 1,3 L ve 2,2 L paslanmaz çelik kanister |
| Vana/bağlantı | Ekipman kabinine göre; teklif aşamasında netleşir |
Kaynak: öncü kataloglarındaki tipik spesifikasyon yapısı; bağlayıcı değerler üretici COA’sındadır.
Kullanıldığı Prosesler
Difüzyon bariyeri (TiN liner). Tungsten kontak dolgusundan önce atılan TiN katmanı, WF₆’nın florunu alttaştan uzak tutar ve metalin yapışmasını sağlar — TDMAT ile WF₆ aynı entegrasyon zincirinin ardışık kalemleridir.
Metal gate ve elektrot filmleri. TiN, iş fonksiyonu ayarlanabilir gate metali ve DRAM kapasitör elektrotu olarak MOCVD/ALD ile atılır; TDMAT’ın klorsuz kimyası, klorlu alternatifin (TiCl₄) kalıntı klor sorununu taşımaz.
Düşük sıcaklık avantajı. Metal-organik rota, TiCl₄ rotasından belirgin düşük sıcaklıkta çalışır; sıcaklık bütçesi kısıtlı katmanlarda (BEOL) tercih nedeni budur. Döngü mantığı ve film-öncü tablosu için ALD/CVD proses sayfasına bakın.
İlgili elektronik grade ürünler
Elektronik grade tedarik teklifi
Ürünü, hedef saflık sınıfını, miktarı ve ambalajı yazın; fiyat ve net teslim tarihiyle dönelim.
Ambalaj ve Elleçleme
- 1,3 L ve 2,2 L paslanmaz çelik kanister
TDMAT havadaki nemle anında tepkir; kanister hiçbir aşamada atmosfere açılmaz, transfer inert gaz basıncıyla yapılır. Kanister ve besleme hattı üretici spesifikasyonundaki sıcaklık penceresinde tutulur — aşırı ısıtma ürünü kanister içinde bozundurur. İade kanisterleri inert basınç altında döner.
Güvenlik
TDMAT yanıcı ve nemle şiddetli tepkimeli bir sıvıdır; teması tahriş edicidir, tepkime ürünü dimetilamin kokusuyla kendini belli eder. Kapalı sistem elleçleme ve inert atmosfer disiplini ön şarttır. Bu bölüm özet bilgidir; bağlayıcı bilgi SDS’tedir, acil durumda 112’yi arayın.
İlgili Sektörler
- Yarı iletken üretimi — bariyer/gate/elektrot TiN filmleri.
- İleri paketleme ve OSAT — TSV bariyer katmanları.
- Araştırma, Ar-Ge ve temiz oda — ALD proses geliştirme; küçük kanister talebinin kaynağı.
Sıkça Sorulan Sorular
TDMAT mı TiCl₄ mü?
İki rota da TiN verir. TiCl₄ ucuzdur ama yüksek sıcaklık ister ve filmde klor kalıntısı bırakabilir; TDMAT düşük sıcaklıkta çalışır ve klorsuzdur, karşılığında karbon kalıntısı yönetimi ister (plazma ko-reaktanla çözülür). Entegrasyonunuzun sıcaklık bütçesi seçimi belirler.
Kanister neden atmosfere hiç açılmıyor?
TDMAT nemle saniyeler içinde bozunur — açılan kanister hem ürünü hem hattı kirletir. Tüm transferler kapalı sistemde, inert gazla yapılır; bu disiplin ürünün raf ömrünün ve film tekrarlanabilirliğinin ön şartıdır.
Küçük hacimli Ar-Ge alımı mümkün mü?
Evet — 1,3 L kanister tam bu ölçek içindir. Üniversite ve pilot hat talepleri üretim hattıyla aynı süreçten geçer; kanister tipi ve vana ekipmanınıza göre teklif aşamasında netleşir.
Fiyat ve tedarik nasıl işliyor?
Fiyat; saflık sınıfı, kanister boyu ve lojistikle teklifte netleşir. TDMAT’ı WF₆ ve diğer film sarflarıyla tek teklifte toplayın — teklif talebi bırakın.
SoleChem Kimya, TiN entegrasyonunun öncü zincirini ince film portföyüyle birlikte tedarik eder. TDMAT ihtiyacınız için teklif talebi bırakın.