Etch Sonrası Kalıntı Temizleyici (PERR)
Plazma aşındırma işini bitirdiğinde geride iki şey kalır: rezistin sertleşmiş kabuğu ve hendek duvarlarına yapışmış, plazmanın metal-iyon-polimer karışımından pişirdiği kalıntı filmi. Kül alma (ashing) kabuğu götürür ama bu ikinci filmi çoğu zaman götüremez — üstelik kalıntı, korumak zorunda olduğunuz metalin (Cu, Al, Co, W) hemen üstündedir. PERR (Post-Etch Residue Remover) formülasyonları tam bu dengeye kuruludur: kalıntıyı çözecek kadar agresif, açıktaki metali korozyondan koruyacak kadar seçici. SoleChem, Cu/Al/Co uyumlu PERR ailelerini elektronik saflık sınıfında tedarik eder; lot bazlı analiz bilgisi teklif aşamasında paylaşılır, sevkiyat üretici COA + SDS ile yapılır.
Teklif talebi bırakın · tipik spesifikasyon aralıkları
Tipik Spesifikasyon Aralıkları
Formüle üründe bileşim üreticinin bilgisidir; şartname performans ve safsızlık satırlarıyla konuşur. Aşağıdaki çerçeve tipiktir; bağlayıcı spesifikasyon teklif aşamasında netleşir.
| Parametre | Tipik çerçeve |
|---|---|
| Formül ailesi | Yarı sulu (semi-aqueous), florürlü veya amin bazlı |
| Uyumlu metal | Cu, Al, Co, W — aileye göre |
| İz metal | ppb sınıfı limitler |
| Partikül | Sınırlı, LPC ile doğrulanır |
| Ambalaj | 4 L şişe, 20 L bidon, 200 L drum |
Kaynak: formüle temizleyici kataloglarındaki tipik şartname yapısı; bağlayıcı değerler üretici COA’sındadır.
Kullanıldığı Prosesler
BEOL via/hendek temizliği. Bakır çift damascene akışında her via etch’inin ardından, dielektrik duvarındaki florlu polimer ve via dibindeki bakır oksit kalıntısı alınır; sonraki bariyer katmanının yapışması bu temizliğe bağlıdır. Plazma tarafının bağlamı için kuru aşındırma sayfasına bakın.
Alüminyum hat temizliği. Cl bazlı Al etch sonrası duvar polimeri klor taşır; alınmazsa nemle birleşip hattı korozyona uğratır. Al-uyumlu PERR aileleri bu klorlu kalıntının standart çözümüdür.
İleri paketleme akışları. RDL desenleme ve bump etch adımlarından sonra kalan kalıntılar, OSAT hatlarının temizlik kimyasıyla — çoğu zaman aynı formül aileleriyle — alınır.
İlgili elektronik grade ürünler
Elektronik grade tedarik teklifi
Ürünü, hedef saflık sınıfını, miktarı ve ambalajı yazın; fiyat ve net teslim tarihiyle dönelim.
Ambalaj Seçenekleri
- 4 L şişe (Ar-Ge / tekli wafer istasyonu)
- 20 L bidon, 200 L drum (hat beslemesi)
Formüle ürünlerde raf ömrü ve banyo ömrü ayrı kavramlardır; açılmamış kap üretici spesifikasyonu kadar, banyo ise işlenen yüzeye göre yaşar. Banyo değişim pratiği ekipman reçetenizindir.
Güvenlik
PERR aileleri organik çözücü, amin veya seyreltik florür içerebilir; formüle göre KKD ve havalandırma gereksinimleri değişir. Ürün seçildiğinde SDS’i üzerinden çalışma talimatı çıkarılır. Bu bölüm özet bilgidir; bağlayıcı bilgi SDS’tedir, acil durumda 112’yi arayın.
İlgili Sektörler
- Yarı iletken üretimi — BEOL via/hendek temizliği; ana pazar.
- İleri paketleme ve OSAT — RDL ve bump sonrası temizlik.
- MEMS ve sensör üretimi — DRIE sonrası polimer temizliği.
Sıkça Sorulan Sorular
Stripper ile PERR aynı şey değil mi?
Kesişir ama aynı değildir: stripper rezist kütlesini çözmek için, PERR ise plazmanın bıraktığı ince, metal içerikli, çapraz bağlı kalıntı filmi için formüle edilir. Ashing kullanan hatlarda rezist zaten yanmıştır; kalan iş PERR’indir.
Hangi formül ailesi bana uygun?
Kalıntının tipi ve açıktaki metal belirler: bakır hatlar korozyon inhibitörlü yarı sulu aileleri, klorlu Al kalıntısı amin/hidroksilamin bazlı aileleri, inatçı florlu polimerler seyreltik florürlü aileleri ister. Teklif formuna “hangi metal + hangi etch adımı” bilgisini yazın; aile seçimini birlikte daraltalım.
Deneme hacmi alabilir miyim?
Evet — 4 L şişe ölçeği kalifikasyon denemeleri içindir; uygun formül doğrulandıktan sonra hacim bidon/drum ölçeğine geçer.
Fiyat ve tedarik nasıl işliyor?
Fiyat; formül ailesi, ambalaj ve hacimle teklifte netleşir. PERR’i stripper ve solvent kalemleriyle tek teklifte toplayın — teklif talebi bırakın.
SoleChem Kimya, etch sonrası temizlik formülasyonlarını ıslak proses kataloğuyla birlikte tedarik eder. Kalıntı probleminiz için teklif talebi bırakın.