Krom ve Altın Etchant (Cr / Au) — Elektronik Grade Hazır Aşındırma Çözeltileri

Krom ve altın, mikroüretimin en sık kullanılan ince film ikilisindendir: krom yapışma ve maske katmanı, altın iletken ve temas katmanıdır. İkisinin de ıslak aşındırması kendine özgü kimya ister ve pratikte hazır formüle edilmiş çözeltilerle yapılır. Bu sayfa iki ürünü birlikte ele alır: Cr etchant — serik amonyum nitrat (CAN — Ceric Ammonium Nitrate) bazlı, Cr ve CrOx filmler için — ve Au etchant — KI/I₂ (potasyum iyodür/iyot) bazlı, siyanürsüz altın aşındırıcı. İkisi de kullanıma hazır, küçük ambalajlı, Ar-Ge ve MEMS hatlarına dönük ürünlerdir. SoleChem, her iki etchant’ı tedarik eder; lot bazlı analiz bilgisi teklif aşamasında paylaşılır, sevkiyat üretici COA + SDS ile yapılır.

Teklif talep edin · spesifikasyon aralıklarına atlayın

Tipik Spesifikasyon Aralıkları

Aşağıdaki değerler tipik aralıklardır; bağlayıcı spesifikasyon ve lot analizi teklif aşamasında netleştirilir. Hazır etchant’larda spesifikasyon tek tek safsızlıklardan çok formülasyonun tekrarlanabilirliği üzerinden okunur: aynı reçete, aynı aşındırma davranışı.

Kaynak: URUN-ENVANTERI hazır karışımlar bölümü. Değerler tipik aralıklardır, taahhüt değildir; aşındırma hızı film kalınlığına, biriktirme yöntemine ve banyo yaşına bağlıdır.

Spesifikasyon çerçevesi için SEMI C-serisi standartlar, ölçüm yöntemleri için analiz yöntemleri sayfalarına bakın.

Cr Etchant: Serik Amonyum Nitrat Kimyası

Krom, ıslak aşındırması zor metallerden sayılır: yüzeyindeki pasif oksit çoğu asidin işini keser. Standart çözüm güçlü bir oksitleyicidir — serik amonyum nitrat, Ce⁴⁺ iyonuyla kromu çözünür Cr³⁺‘e yükseltger; formülasyondaki asit (nitrik veya perklorik bazlı reçeteler) banyoyu kararlı tutar. Karışım oda sıcaklığında, fotorezist maske ile uyumlu çalışır ve altın, silisyum, oksit gibi komşu malzemelere dokunmaz.

Kullanım alanları üç başlıkta toplanır. Birincisi fotomask: kuvars/cam üzerindeki Cr ve CrOx maske katmanının desenlenmesi, bu kimyanın klasik işidir. İkincisi yapışma katmanı: Au metalizasyonun altındaki ince Cr tabakası, altın desenlendikten sonra bu etchant ile temizlenir. Üçüncüsü MEMS tarafında Cr’nin sert maske olarak kullanıldığı akışlardır — cam ve kuvars aşındırmada Cr/Au maske ikilisinin standart çifti yine bu iki etchant’tır. Reçete bağlamının tamamı için metal ve iletken film aşındırma sayfasına bakın.

Au Etchant: KI/I₂ — Siyanürsüz Altın Aşındırma

Altın soy metaldir; tekil asitler işlemez, klasik çözücüleri kral suyu ve siyanür banyolarıdır. İkisi de laboratuvar pratiği açısından sorunludur: kral suyu agresif ve kısa ömürlü, siyanür ise ciddi bir güvenlik ve atık yüküdür. Mikroüretimin standardı bu yüzden KI/I₂ çözeltisidir: iyot altını oksitler, iyodür fazlası onu çözünür altın-iyodür kompleksi olarak banyoda tutar. Oda sıcaklığında, fotorezist maskeyle uyumlu ve öngörülebilir çalışır; siyanür içermemesi, sıradan temiz oda altyapısıyla güvenle kullanılabilmesi demektir.

Kullanım alanları: LED ve optoelektronik üretiminde Au temas ve elektrot desenleme, MEMS’te Au elektrot/yansıtıcı katmanlar, sensör metalizasyonu ve lift-off yerine aşındırmayla desenlemenin seçildiği her Au akışı. Cr yapışma katmanlı Au filmlerde iki etchant sırayla kullanılır: önce KI/I₂ ile altın, ardından CAN bazlı çözeltiyle krom.

Neden Hazır Karışım?

İki kimya da laboratuvarda sıfırdan hazırlanabilir; hazır ürünün değeri tekrarlanabilirliktir. CAN tartımı, asit oranı ve çözelti yaşı aşındırma hızını doğrudan oynatır; KI/I₂ oranı ve iyot çözme süreci de öyle. Hazır formülasyon bu değişkenleri üreticide sabitler: her şişede aynı reçete, her banyoda aynı davranış. Küçük seri üretim ve Ar-Ge ortamında — yani banyonun sık tazelendiği, her denemenin belgelendiği işlerde — bu istikrar, kimyasal maliyetinden daha değerlidir. Ar-Ge ve temiz oda müşterilerimizin bu iki ürünü çoğunlukla birlikte istemesinin nedeni de budur: Cr/Au film yığını, etchant çifti olmadan desenlenemez.

Ambalaj Seçenekleri

• 1 L HDPE şişe — her iki ürün için standart ambalaj
• 4-20 L bidon — düzenli tüketen hatlar için sipariş üzerine

Her iki çözelti de oda sıcaklığında, ışıktan korunarak ve sıkıca kapalı kapta saklanır; iyot çözeltisi açık kapta yavaşça iyot kaybeder, CAN bazlı çözelti ise organik maddeyle temastan korunmalıdır. Küçük ambalaj burada bilinçli tercihtir: banyo ömrü sınırlı olduğundan büyük kap açmak çoğu hat için israftır.

Güvenlik

Cr etchant GHS profili: oksitleyici ve aşındırıcı — cilt ve göz hasarı riski taşır; organik maddelerle (solvent, kağıt, rezist atığı) temas ettirilmez. Kullanılmış banyo çözünmüş krom içerdiğinden ağır metal atığı olarak toplanır ve lisanslı bertarafa verilir. Au etchant GHS profili: cilt, göz ve solunum yolu tahrişi; iyot buharı için havalandırma altında çalışılır, çözelti kalıcı leke bırakır. Kullanılmış banyo çözünmüş altın içerir — birçok tesis bunu ayrı biriktirip değerli metal geri kazanımına gönderir. Her iki üründe kişisel koruyucu donanım: kimyasala dayanıklı eldiven, koruyucu gözlük/yüz siperi, önlük. Bu bölüm özet bilgidir; bağlayıcı bilgi ürünlerin SDS belgelerindedir. Acil durumda 112’yi arayın.

İlgili Sektörler

• MEMS ve sensör — Cr/Au maske ve elektrot yığınlarının standart etchant çifti.
• LED ve optoelektronik — Au temas/elektrot desenleme, Cr yapışma katmanı temizliği.
• Araştırma, Ar-Ge ve temiz oda — fotomask onarımından metalizasyon denemelerine küçük hacimli düzenli talep.
• Yarı iletken — metalizasyon aşındırma ve fotomask işleri.

Sıkça Sorulan Sorular