Hidroflorokarbon Etch Gazları — CH₃F, CH₂F₂, CHF₃
Hidroflorokarbonlar (HFC), plazma aşındırmanın seçicilik ailesidir: florometan (CH₃F; CAS 593-53-3), diflorometan (CH₂F₂; CAS 75-10-5) ve triflorometan/floroform (CHF₃; CAS 75-46-7). Üçünü tek eksen ayırır — moleküldeki hidrojen oranı. Hidrojen arttıkça plazma daha çok polimer üretir ve silisyum nitrürün oksite/silisyuma karşı seçiciliği büyür; reçete mühendisliği doğru gazı (veya karışımı) bu eksenden seçer. SoleChem, üç HFC gazını da elektronik saflık sınıfında silindir bazında tedarik eder; lot bazlı analiz bilgisi teklif aşamasında paylaşılır, sevkiyat üretici COA + SDS ile yapılır.
Teklif talebi bırakın · tipik spesifikasyon aralıkları
Tipik Spesifikasyon Aralıkları
Aşağıdaki değerler tipik aralıklardır; bağlayıcı spesifikasyon ve lot analizi teklif aşamasında netleştirilir.
| Ürün | CAS | Saflık (tipik) | Ana kullanım |
|---|---|---|---|
| CH₃F (florometan) | 593-53-3 | ≥ %99,9–99,999 | Si₃N₄’ün Si/SiO₂’ye karşı yüksek seçicilikli aşındırılması |
| CH₂F₂ (diflorometan) | 75-10-5 | ≥ %99,9–99,999 | Nitrür seçici etch, self-aligned kontak reçeteleri |
| CHF₃ (floroform) | 75-46-7 | ≥ %99,9–99,999 | Oksit/nitrür kontak-via aşındırma |
Kaynak: elektronik özel gaz kataloglarındaki tipik saflık yapısı; bağlayıcı değerler üretici COA’sındadır.
Ambalaj üçünde de 47 L silindir standardıdır; CH₂F₂ için yüksek hacim (880 L) seçenekleri mevcuttur. Vana/bağlantı standardı teklif aşamasında netleşir.
Kullanıldığı Prosesler
Nitrür spacer ve seçici aşındırma. Transistör spacer’ı, alttaki silisyuma dokunmadan Si₃N₄’ü almayı gerektirir; yüksek hidrojenli CH₃F/CH₂F₂ reçeteleri bu seçiciliği verir. Self-aligned kontak akışlarının kritik gazlarıdır.
Kontak ve via aşındırma. CHF₃, oksit ve nitrür katmanlarda kontak deliği açmanın klasik gazıdır; orta polimerleşmesiyle profil ve seçicilik dengesini kurar. Plazma kimyasının bütünü kuru aşındırma sayfasında.
Karışım reçeteleri. Üretim reçeteleri çoğu zaman HFC’yi perflorokarbonlarla, O₂ ve Ar ile karıştırır; gaz paneliniz her bileşeni ayrı hat olarak ister — tedarik listesi de öyle kurulur.
İlgili elektronik grade ürünler
Elektronik grade tedarik teklifi
Ürünü, hedef saflık sınıfını, miktarı ve ambalajı yazın; fiyat ve net teslim tarihiyle dönelim.
Ambalaj ve Elleçleme
- 47 L silindir (üç ürün için standart)
- CH₂F₂ için 880 L silindir seçeneği
HFC’ler yanıcılık ve basınç sınıflarına göre taşınır; gaz kabini ve sensör altyapısı kullanım yerinin sorumluluğudur. Silindir iade döngüsü teklif aşamasında planlanır.
Güvenlik
HFC gazları düşük akut toksisiteli olsa da boğucu gaz sınıfındadır ve bazıları (CH₃F, CH₂F₂) yanıcıdır; plazma içinde bozunma ürünleri arasında HF bulunur — egzoz ve skruber hattı bu yüzden kritiktir. Bu bölüm özet bilgidir; bağlayıcı bilgi SDS’tedir, acil durumda 112’yi arayın.
İlgili Sektörler
- Yarı iletken üretimi — spacer, kontak ve via aşındırma.
- MEMS ve sensör üretimi — nitrür maske ve yapısal katman işleri.
- İleri paketleme ve OSAT — RDL ve pasivasyon aşındırmaları.
Sıkça Sorulan Sorular
Üç gaz arasında nasıl seçim yapılır?
Reçeteniz seçer: hedef katman (nitrür mü oksit mi), alt katman seçiciliği ve profil ihtiyacı gaz veya karışımı belirler. Ekipman üreticisinin proses kiti hangi gazı tanımlıyorsa tedarik o kalemden açılır; biz saflık ve silindir tarafını netleştiririz.
CF₄ neden bu sayfada yok?
CF₄ (tetraflorometan) perflorokarbon ailesindendir ve hidrojen içermez; o aile ayrı sayfada toplanmıştır. Katalog dışı görünen herhangi bir etch gazı da teklif kapsamında sorulabilir.
Bu gazların sera gazı durumu ne?
HFC’ler F-gazı düzenlemelerine tabidir; fab tarafında emisyon azaltma (abatement) altyapısı yaygın pratiktir. Tedarik tarafında bu, taşıma ve raporlama disiplinine yansır — teklif aşamasında birlikte planlanır.
Fiyat ve tedarik nasıl işliyor?
Fiyat; ürün, saflık ve silindir boyuna göre teklifle netleşir. Üç HFC’yi ve reçetenizdeki diğer gazları tek teklifte toplamak lojistikte avantajlıdır — teklif talebi bırakın.
SoleChem Kimya, plazma reçetenizin gaz listesini tek katalogdan karşılar; HFC ailesi için teklif talebi bırakın.